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一种三段式表面等离激元透镜制造技术
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文档序号:16390465
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一种三段式表面等离激元透镜,涉及表面等离激元。由三层刻蚀在金属表面的矩形凹槽组成,在线偏振光照明下,将形成突破衍射极限的越小尺寸表面等离激元焦点,凹槽宽度为λ/2,每层凹槽的中心位置均分布在三条线段上,对于第i层(i=1,2,3),每层凹槽...
该专利属于厦门大学所有,仅供学习研究参考,未经过厦门大学授权不得商用。
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