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复合衬底及外延片及电力器件制造技术
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文档序号:16387849
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本实用新型涉及一种复合衬底,其包括硅衬底层以及用于生长外延层的蓝宝石衬底层;所述蓝宝石衬底层键合在所述硅衬底层上。上述复合衬底,由蓝宝石衬底层与硅衬底层采用键合工艺成为一体,该复合衬底,可以在蓝宝石衬底层上生长高质量的外延层(例如高质量的氮...
该专利属于苏州爱彼光电材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州爱彼光电材料有限公司授权不得商用。
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