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本发明公开了一种欧姆接触区方块电阻的测试修正方法，主要解决现有技术关于欧姆接触区方块电阻Rshc计算不准确，以及计算过程复杂的问题。其实现方案是：制作两组结构类似的圆形欧姆接触测试图形，每组包含一个圆形欧姆电极、两个同心圆环形欧姆电极；然后...
该专利属于西安电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安电子科技大学授权不得商用。

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