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一种产生液体电致转动的装置制造方法及图纸
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下载一种产生液体电致转动的装置的技术资料
文档序号:16370831
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该发明公开了一种产生液体电致转动的装置,涉及流体力学、电动力学与微流控技术领域。采用医用玻璃制作成微腔体,同时利用软光刻技术对柔性单面覆铜聚酰亚胺薄膜进行加工,制作铜电极。铜电极贴壁放置在微腔体里,荧光颗粒悬浮液放置在微腔体中。芯片连接直流...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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