下载灭火装置及多晶硅生产系统的技术资料

文档序号:16370369

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本发明提供了一种灭火装置及多晶硅生产系统,属于多晶硅生产领域。灭火装置包括罐体、感应装置、控制器和输气管。输气管上设置有截止阀,并且与气源连接,气源能够提供不可燃气体。输气管与罐体连接,感应装置设置在罐体的顶部或内部,感应装置与控制器连接,...
该专利属于亚洲硅业(青海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过亚洲硅业(青海)有限公司授权不得商用。

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