温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属于射频微机电系统(MEMS)技术领域，具体提供一种新型压电薄膜体声波谐振器及其制造方法，包括衬底，支撑层、底电极层、压电层及顶电极层；该谐振器的衬底上开设有一定数量凹槽，用以增大衬底外表面积；在衬底上设置支撑层，使用低声阻抗柔性材料...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。