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一种具有非极性吸收层的紫外探测器制造技术
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下载一种具有非极性吸收层的紫外探测器的技术资料
文档序号:16366556
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本发明公开了一种具有非极性吸收层的紫外探测器,包括:自下而上依次设置的衬底、AlN中间层、非掺杂AlGaN缓冲层、n型AlGaN层、非极性AlxGa1‑xN/AlyGa1‑yN多量子阱吸收、分离层、非掺杂AlzGa1‑zN倍增层、p型AlG...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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