下载一种铁电场效应晶体管及其制备方法的技术资料

文档序号:16366548

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种铁电场效应晶体管,包括:衬底;在所述衬底上形成的沟道层;在所述沟道层上形成的源极区和漏极区,所述源极区和所述漏极区对称形成于所述沟道层的两端;在所述沟道层上且在所述源极区和所述漏极区之间形成的缓冲层;在所述缓冲层上形成的铁电...
该专利属于湘潭大学所有,仅供学习研究参考,未经过湘潭大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。