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一种铁电场效应晶体管及其制备方法技术
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文档序号:16366548
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本发明公开了一种铁电场效应晶体管,包括:衬底;在所述衬底上形成的沟道层;在所述沟道层上形成的源极区和漏极区,所述源极区和所述漏极区对称形成于所述沟道层的两端;在所述沟道层上且在所述源极区和所述漏极区之间形成的缓冲层;在所述缓冲层上形成的铁电...
该专利属于湘潭大学所有,仅供学习研究参考,未经过湘潭大学授权不得商用。
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