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本发明公开了一种提高光利用率的图像传感器及其制备方法,所述图像传感器包括集成衬底单元和交替隔离层,所述交替隔离层位于所述集成衬底单元的上方,所述集成衬底单元中包括光电二极管和填充层,所述填充层位于所述光电二极管的上方,其中,还包括光通道沟槽...该专利属于上海集成电路研发中心有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海集成电路研发中心有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种提高光利用率的图像传感器及其制备方法,所述图像传感器包括集成衬底单元和交替隔离层,所述交替隔离层位于所述集成衬底单元的上方,所述集成衬底单元中包括光电二极管和填充层,所述填充层位于所述光电二极管的上方,其中,还包括光通道沟槽...