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一种基于光热效应的纳米键合系统和方法技术方案
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文档序号:16366503
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本发明公开一种基于光热效应的纳米键合系统,包括衬底,设置在衬底上的至少一块金属电极;金属电极上放置有待融合的纳米线;还包括设置在衬底上方的激光光源,以及将激光汇聚在纳米线与金属电极接触位点处的透镜。本发明还公开一种基于光热效应的纳米键合方法...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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