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本发明是一种压电微位移补偿的气动精密定位机构由气缸、压电陶瓷位移放大机构、第二滑块、第一滑块、导轨7、光栅传感器的玻璃尺9、光栅传感器的第一读数头、光栅传感器的第二读数头、工作台以及气缸与工作台的第一连接件、第二连接件、气缸与压电陶瓷位移放...
该专利属于南京工程学院所有，仅供学习研究参考，未经过南京工程学院授权不得商用。

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