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提供了一种估计图像扫描装置(100)中的目标的焦点对准水平的方法，其中图像扫描装置包括：第一行扫描检测器(2)，其被构造成获得目标的一个或多个图像扫描行；和第二行扫描检测器(3)，其被构造成获得目标的一个或多个焦点扫描行。该方法包括：利用第...
该专利属于FFEI公司所有，仅供学习研究参考，未经过FFEI公司授权不得商用。

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