下载针对X射线表征设备原位池联用的反应控制和质谱分析站的技术资料

文档序号:16364723

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本发明涉及一种针对X射线表征设备原位池联用的反应控制和质谱分析站,所述反应控制和质谱分析站包括反应气体成分控制模块及在线气体成分分析模块,发明内容还包括基于原有真空管线部分的改装,改装后的原有真空管线部分通过总排气口、原位反应池尾气口及原位...
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