下载玻璃基板的激光加工装置的技术资料

文档序号:16351683

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本发明的玻璃基板的激光加工装置通过设成环状的柱面透镜使从激光光源射出的激光与玻璃基板的预定切断线相对应地聚光。激光相对于柱面透镜的照射位置通过驱动装置而沿第1方向移动。激光是在与其光轴正交的面内与第1方向垂直的第2方向上的宽度(W5)比柱面...
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