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本发明涉及一种整合式药液槽，特别适用于湿式制程。所述整合式药液槽包括一操作腔室、一液体槽以及一泵。所述操作腔室，用于执行湿式制程。所述液体槽，设置于所述操作腔室下方以及用于储存至少一液体。所述泵，用于自所述液体槽抽取所述至少一液体至所述操作...
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