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本发明提供一种用于氮化物生长的复合衬底结构的制造方法，包括步骤：1）于生长衬底表面形成用于后续发光外延结构生长的缓冲层；2）于缓冲层表面形成SiO2层；3）于SiO2层表面形成具有多个间隔排列的孔状窗口的掩膜层；4）藉由各该孔状窗口对SiO...
该专利属于上海蓝光科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海蓝光科技有限公司授权不得商用。

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