下载透射型光学元件分层相位成像的装置和方法的技术资料

文档序号:16331540

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一种透射型元件分层相位成像的装置和方法,该装置由相干光源、扩束器、会聚透镜、待测光学元件、二维电动平移台、探测器和计算机组成,本发明相干光源发出的准平行光经过会聚透镜后形成的会聚球面波作为待测光学元件的照明光,在计算机的控制下驱动二维电动平...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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