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一种根据本发明的示例性实施例的直接接合机包括：托台，其具有流动路径和工作图案孔，从外部供给的工作流体沿着所述流动路径流动，所述工作图案孔与流动路径连通且暴露至外侧；以及隔膜，其联接至所述托台，从而遮盖所述托台的工作图案孔，其中，所述隔膜的至...
该专利属于塔工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过塔工程有限公司授权不得商用。

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