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本发明适用于薄膜应力测试技术领域，公开了一种薄膜应力测试仪及其测试方法，所述测试仪包括台架、设置在台架上的激光器、可内置薄膜样品的真空腔室、用于控制真空腔室进行X轴和Y轴运动的XY轴运动平台、安装在真空腔室的底板上且用于实现样品快速升降温功...
该专利属于中国科学院深圳先进技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院深圳先进技术研究院授权不得商用。

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