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高速沉积混合氧化物阻挡膜制造技术
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下载高速沉积混合氧化物阻挡膜的技术资料
文档序号:16308614
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本发明涉及金属氧化物阻挡膜,并且具体地涉及用于高速沉积这种阻挡膜的方法。公开了能够产生水蒸汽透过率(WVTR)低于0.1g/(m...
该专利属于路特斯应用技术有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过路特斯应用技术有限责任公司授权不得商用。
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