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在此所公开的一个说明性静电致动器包括第一电极、第二电极、在所述第一电极与所述第二电极之间的第一绝缘层、在所述第一电极与所述第二电极之间的第一弹性材料、第三电极、在所述第二电极与所述第三电极之间的第二绝缘层、以及在所述第二电极与所述第三电极之...
该专利属于意美森公司所有，仅供学习研究参考，未经过意美森公司授权不得商用。

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