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所描述的实例包含毫米波原子时钟设备(100)，芯片级蒸汽室(101)及制造方法，其中低压力偶极分子气体提供在具有形成波导的导电内部表面(103b，104)的密封腔中。非导电孔(108a，108b)提供到所述腔的电磁入口及离开所述腔的出口。形...
该专利属于德州仪器公司所有，仅供学习研究参考，未经过德州仪器公司授权不得商用。

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