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清洗装置制造方法及图纸
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文档序号:16304042
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清洗装置包括:保持添加了少量添加剂的水作为第一清洗液(1)的第一清洗槽(10)、保持水、水类的清洗剂、碱清洗液或亲水性有机溶剂作为第二清洗液(2)的第二清洗槽(20)、第一微细气泡产生装置(11)、第一循环泵(12)、超声波照射装置(21)...
该专利属于三菱电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱电机株式会社授权不得商用。
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