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公开了MEMS结构及其制造方法。所述MEMS结构包括：衬底；可动部件，所述可动部件位于所述衬底上方；固定部件，所述固定部件位于所述可动部件上，并且与所述可动部件彼此相对，以形成电容极板；第二焊盘，位于所述固定部件上；互连部件，连接所述可动部...
该专利属于北京卓锐微技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京卓锐微技术有限公司授权不得商用。

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