下载一种LED外延生长方法的技术资料

文档序号:16302140

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本申请提供了一种LED外延生长方法,该LED外延是采用金属化学气相沉积法MOCVD对基底进行处理获得的,该方法包括:将基底进行退火,在基底上依次生长缓冲层、u‑GaN层、n‑GaN层、量子阱层、Al渐变AlGaN层、InGaN:Mg层、In...
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