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本发明提供了一种具有同一等离子体源的原子层沉积的装置及方法，包括反应物传输腔以及与反应物传输腔相邻的可移动基底，反应物传输腔内设置有至少一个独立的前驱体反应物传输渠道和至少一个与所述前驱体反应物传输渠道间隔分布的等离子体反应物传输渠道，所述...
该专利属于李哲峰;辛玲玲所有，仅供学习研究参考，未经过李哲峰;辛玲玲授权不得商用。

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