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本发明公开了一种超快激光的光芯片阵列加工系统及方法，属于光芯片微纳加工技术领域。所述系统包括沿光路方向包括激光光源、空间光调制器、扩束器、反射镜、微透镜阵列、六维工作平台，还包括气浮平台、中控计算机，所述中控计算机分别与激光光源、空间光调制...
该专利属于湖北工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过湖北工业大学授权不得商用。

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