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本实用新型公开了一种石英坩埚清洗装置，包括箱体和位于箱体上方的罩部，罩部具有活动门，箱体上表面安装有基板，罩部内具有上圆环板、下圆环板、上L型臂和下L型臂，上L型臂安装在罩部顶部，下L型臂安装在液压缸的自由端上，液压缸安装在基板上，下圆环板...
该专利属于江苏华尔石英材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏华尔石英材料股份有限公司授权不得商用。

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