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本发明涉及一种用于非接触式光斑测量或高度和/或厚度的多点测量的光学器件。所述测量器件基于色散共焦显微镜的原理。所述原理基于具有轴向色差的光学组件，以便对位于所述测量器件的测量场中的物体的高度和/或厚度信息进行编码。所述光学系统也被锚定在共焦...
该专利属于阿森提斯股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过阿森提斯股份有限公司授权不得商用。

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