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本实用新型提供了一种多轴电容式加速度计，所述多轴电容式加速度计的Z轴加速度计的两个Z轴结构层分别放置于XY轴加速度计两侧，该结构可减小封装形变引起的误差，从而提高多轴电容式加速度计的灵敏度。...
该专利属于杭州士兰微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州士兰微电子股份有限公司授权不得商用。

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