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本实用新型提供了一种机械手臂，包括：手臂主体、手臂尖端和对位辅助装置；所述手臂主体与手臂尖端相连，所述对位辅助装置活动设置于所述手臂主体上。在本实用新型提供的机械手臂、传送装置及曝光设备中，所述机械手臂上设置有对位辅助装置能够准确判断所述机...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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