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本发明涉及一种薄膜真空蒸镀装置，具体涉及一种线性蒸发源装置。该线性蒸发源装置包括加热层、材料腔室和线性槽，所述加热层设置于材料腔室的外部，所述线性槽设置于材料腔室的顶部并平行于材料腔室长度方向，所述线性槽是一体结构并具有本体和两个端部，所述...
该专利属于北京汉能创昱科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京汉能创昱科技有限公司授权不得商用。

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