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物联网射频收发组件中悬臂梁振动电磁自供电微传感器制造技术
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文档序号:16284330
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本发明的物联网射频收发组件中悬臂梁振动电磁自供电微传感器,集成了压电换能器和整流天线系统两种能量收集自供电模块,分别针对机械振动能和杂散电磁能起到能量收集、转换和储能的作用。该发明在砷化镓衬底上,由MEMS悬臂梁、滤波电路、整流电路和储能电...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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