下载一种硅棒切割用的主辊的技术资料

文档序号:16271971

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本实用新型涉及一种硅棒切割用的主辊,属于硅片生产技术领域,该主辊包括主辊本体,在主辊本体外围设置有定位切割线用的齿槽,所述的齿槽底部设置有定位槽,定位槽的槽口与齿槽的槽壁相连接,定位槽的两侧壁之间的夹角α大于齿槽的两槽壁的夹角β,定位槽的槽...
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