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本发明提供一种非晶硅平板探测器及其制备方法，包括：于基板上制备图像传感器阵列，在图像传感器阵列上形成平坦化的聚焦微透镜材料层；于聚焦微透镜材料层上形成光刻胶层；对光刻胶层曝光、显影，形成光刻胶阵列，光刻胶阵列中的各光刻胶单元与图像传感器阵列...
该专利属于上海奕瑞光电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海奕瑞光电子科技有限公司授权不得商用。

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