下载光检查装置的技术资料

文档序号:16260013

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本实用新型提供了能够高精度地发现被检查物中包含的异物的光检查装置。本实用新型的光检查装置包括:输送部,输送被检查物;激发光照射部,在检查区域,向被检查物照射用于使异物产生荧光的激发光;光检测部,在检查区域检测荧光;以及处理部,根据从光检测部...
该专利属于株式会社石田所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社石田授权不得商用。

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