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一种金属/聚合物复合三维微纳米结构的制备方法技术
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文档序号:16258214
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本发明公开了一种金属/聚合物复合三维微纳米结构的制备方法,属于微纳米加工技术领域。所述方法包括在基底A上旋涂牺牲层,在牺牲层上旋涂非水溶性聚合物薄膜,形成双层聚合物薄膜;在双层聚合物薄膜的非水溶性聚合物薄膜上制备金属微纳米图案;将牺牲层溶解...
该专利属于北京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京航空航天大学授权不得商用。
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