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一种纳米位移执行器制造技术
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下载一种纳米位移执行器的技术资料
文档序号:16258210
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本发明是一种纳米位移执行器,在衬底(3)的上表面依次设有氧化石墨烯薄膜(2)、薄膜上方承载面(1)构成一个位移传动的承载体,其中薄膜上方承载面作为位移传动的承载面;在所述位移传动的承载体的两端分别设有左密封腔体的密闭墙(4)、右密封腔体的密...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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