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本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉,包括:炉体;设置于所述炉体内的坩埚,用于盛放晶体硅;位于所述坩埚顶部的顶部加热器;位于所述坩埚外侧壁的侧部加热器;包围于所述坩埚外侧壁、顶部加热器及侧部加热器的隔热笼;位于所述坩埚底部的底部加热器,所述顶部加...该专利属于江苏协鑫软控设备科技发展有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏协鑫软控设备科技发展有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉,包括:炉体;设置于所述炉体内的坩埚,用于盛放晶体硅;位于所述坩埚顶部的顶部加热器;位于所述坩埚外侧壁的侧部加热器;包围于所述坩埚外侧壁、顶部加热器及侧部加热器的隔热笼;位于所述坩埚底部的底部加热器,所述顶部加...