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本发明提供一种能够提高加工质量的重复性的激光加工装置。所述激光加工装置在激光光源与加工对象物之间的激光束的路径上配置有射束整形器及衰减器。射束轮廓仪测量保持在载物台上的加工对象物表面位置上的激光束的光强度分布。激光强度测量仪测量入射于保持在...
该专利属于住友重机械工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友重机械工业株式会社授权不得商用。

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