下载一种多晶硅加工制造设备的技术资料

文档序号:16249327

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本实用新型涉及了多晶硅加工制造技术领域,且公开了一种多晶硅加工制造设备,包括底座,所述底座顶部的两侧分别固定安装有左侧挡板和右侧挡板,左侧挡板和右侧挡板均远离底座一端的侧面固定连接有上盖板,所述上盖板内腔顶部的中心处固定安装有与上盖板内腔底...
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