下载无温度信号处理开环式功率自控晶体生长控制方法的技术资料

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一种无温度信号处理开环功率自控晶体生长控制方法,包括放肩工艺步骤的功率开环控制系统和等径工艺步骤的功率开环控制系统,采用功率直控模式,完全避免了温度信号测试仪的信号取值与处理,直接采用功率控制模块进行闭环控制模式,与直径拉速闭环控制模式相辅...
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