下载一种高电阻率的红外探测器及其制备方法的技术资料

文档序号:16234738

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本发明提供了一种高电阻率的红外探测器及其制备方法,该红外探测器包括:至少一鳍结构单元,其具有至少一条鳍结构;敏感层,设置在鳍结构单元的侧壁,并且,具有一开口,从而使得敏感层具有两个贴附侧壁的端部,且两个端部不接触;第一电极层和第二电极层分别...
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