下载一种以硅片切割废料为原料采用隧道窑生产碳化硅的方法的技术资料

文档序号:16220633

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本发明涉及一种以硅片切割废料为原料,采用隧道窑烧结制备碳化硅的方法,属于固体废弃物处理与材料制备领域。其特征在于:利用切割废料采用隧道窑加热、碳化焙烧的方法制备碳化硅。废料经处理干燥后与碳粉均匀混合;压制成型,经隧道窑焙烧后出炉空冷;最终获...
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