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本发明公开了一种MEMS振动能量收集与存储的单片集成装置及其制备方法。本发明采用堆叠的方式实现能量收集器件与锂离子电池的单片集成，结构简单紧凑，利于实现传感器节点的微型化、集成化并提高能源利用效率。此外，本发明中基于MEMS悬臂梁结构的堆叠...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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