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本发明公开了一种MEMS微型固态锂离子电池及其制备方法。通过将锂电池整理设置为MEMS悬臂梁结构，硅负极层在电池充放电时的体积变化引起MEMS悬臂梁结构发生弯曲变形，有效释放和减小了由于硅体积变化在硅负极层内所引起的应力，降低了应力对硅负极...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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