下载横向结构LED及其制备方法的技术资料

文档序号:16218322

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本发明涉及一种横向结构LED及其制备方法,所述制备方法包括:选取SOI衬底;在所述SOI衬底上生长外延层;制作晶化Ge层;在所述晶化Ge层上生长制作脊状Ge‑Sn合金层;在所述脊状Ge‑Sn合金层中制作N型Ge‑Sn合金层及P型Ge‑Sn合...
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