下载一种横向绝缘栅双极型晶体管的技术资料

文档序号:16218279

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本发明属于半导体功率器件技术领域,具体的说是涉及一种横向绝缘栅双极型晶体管。本发明在传统阳极短路LIGBT结构的基础上,在器件漂移区内集电极一端形成隔离介质槽,在隔离介质槽另一端形成集成PMOS结构,并使集成PMOS结构与阳极短路N+区串联...
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