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本发明提供了一种高频三极管及其制作方法。所述高频三极管包括P型衬底、形成于所述P型衬底上的N型外延层、形成于所述P型衬底与所述N型外延层之间的N型埋层、贯穿所述N型外延层与所述N型埋层的沟槽、位于所述沟槽中的集电极引出结构、连接所述集电极引...
该专利属于罗灿所有，仅供学习研究参考，未经过罗灿授权不得商用。

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