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复合源场板电流孔径异质结场效应晶体管制造技术
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文档序号:16218268
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本发明公开了一种复合源场板电流孔径异质结场效应晶体管,其自下而上包括:漏极(13)、GaN衬底(1)、GaN漂移层(2)、孔径层(3)、两个对称的二级阶梯形的电流阻挡层(4)、沟道层(6)、势垒层(7)、帽层(8)和栅极(12),沟道层和势...
该专利属于西安电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安电子科技大学授权不得商用。
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